[发明专利]探针头

摘要

本发明提供了一种探针头，其中，探针头包含第一导位板、第二导位板、间隔件、定位组件及多个探针。第二导位板与第一导位板叠置。间隔件设置于第二导位板，并位于形成于第一导位板与第二导位板之间的容置空间中。定位组件支撑于间隔件上，并可移动地限位于间隔件与第一导位板之间。定位组件包含支撑框及辅助膜。支撑框包含至少一肋部。辅助膜固定至支撑框。探针穿设第一导位板、第二导位板与辅助膜，并形成多个探针区。多个探针区中的至少两个相邻的探针区之间形成非探针区。肋部位于非探针区。借此，可避免辅助膜在探针区周遭的部分的变形量过大而产生下垂与翻膜问题。

主权项

一种探针头，其特征在于，所述探针头包含：一第一导位板；一第二导位板，所述第二导位板与所述第一导位板叠置，其中一容置空间形成于所述第一导位板与所述第二导位板之间；一间隔件，所述间隔件设置于所述第二导位板，并且所述间隔件位于所述容置空间中；一定位组件，所述定位组件支撑于所述间隔件上，并能移动地限位于所述间隔件与所述第一导位板之间，所述定位组件包含：一支撑框，所述支撑框包含至少一肋部；以及一辅助膜，所述辅助膜固定至所述支撑框；以及多个探针，多个所述探针均穿设所述第一导位板、所述第二导位板与所述辅助膜，其中所述探针至少形成一第一探针区及一第二探针区，所述第一探针区及所述第二探针区之间形成一非探针区，所述肋部位于所述非探针区，且所述肋部的宽度大于所述第一探针区中两相邻所述探针的距离的两倍。