[发明专利]抛光设备有效
| 申请号： | 201610230339.X | 申请日： | 2005-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN105904335B | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 锅谷治;户川哲二;福岛诚;安田穗积 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;B24B47/22;B24B49/16 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 李隆涛 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 抛光设备(1)具有抛光垫(22)、用于夹持半导体晶片(W)的顶环(20)、可操作地沿垂直方向移动顶环(20)的垂直运动机构(24)、当顶环(20)的下表面接触抛光垫(22)时可操作地检测顶环(20)的距离测量传感器(46)、可操作地基于距离测量传感器(46)检测到的位置计算顶环(20)抛光半导体晶片(W)的最佳位置的控制器(47)。垂直运动机构(24)包括可操作地将顶环(20)移动到最佳位置的滚珠丝杆机构(30，32，38，42)。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 设备 | ||
【主权项】：
1.一种抛光设备，包括：具有抛光表面的抛光垫；设计成朝向所述抛光表面挤压衬底的顶环主体；设计成挤压所述抛光表面的卡环，所述卡环设置在所述顶环主体的周边部分处；可操作地从顶环主体接收衬底并且向顶环主体传送衬底的推动器；用于修整所述抛光表面的修整器；用于检测所述抛光设备中的至少一个部件的磨损的磨损检测器；和算术单元，可操作地基于所述磨损检测器的信号计算所述至少一个部件的磨损量，并且基于抛光处理或者多组抛光处理的磨损量确定抛光是否正常进行；其中，所述磨损检测器包括用于检测所述卡环的磨损的卡环磨损检测器，以及卡环磨损检测器设置在推动器中。
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