[发明专利]一种微扫描仪及其GaN基LED光源的制备方法有效
| 申请号： | 201610231290.X | 申请日： | 2016-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN105827892B | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 胡芳仁;张雪花 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | H04N1/04 | 分类号： | H04N1/04;H04N1/024;H01L33/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 许方 |
| 地址： | 210023 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微扫描仪及其GaN基LED光源的制备方法，其特征是：所述的微扫描仪为单一结构，包括：GaN基LED光源、静电MEMS微执行器、MEMS微扭杆、p‑GaN电极、透镜。其中，GaN基LED光源生长在一个Si衬底上，透镜设置于GaN基LED光源上面，静电MEMS微执行器包括齿间相互交叉接触的固定齿梳和可动齿梳，MEMS微扭杆连接在静电MEMS微执行器上。使用时，通过静电MEMS微执行器带动微扭杆的转动，进而带动LED光源的转动进行扫描。本发明系统结构简单，易于校准和组装，使用携带方便。更加适合应用于便携式扫描仪中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描仪 及其 gan led 光源 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微扫描仪，其特征在于：所述的微扫描仪为单一结构，其构件包括：GaN基LED光源(2)、静电MEMS微执行器(3)、MEMS微扭杆(4)、p‑GaN电极(5)、透镜(6)，所述的GaN基LED光源(2)生长在一个Si衬底(1)上；所述的透镜(6)设置于所述的GaN基LED光源(2)上面；所述的静电MEMS微执行器(3)包括齿间相互交叉接触的固定齿梳(12)和可动齿梳(13)；所述的MEMS微扭杆(4)连接在所述的静电MEMS微执行器(3)上。
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