[发明专利]微波真空电子器件的零件除气方法、装置和系统在审
| 申请号： | 201610231720.8 | 申请日： | 2016-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN105826148A | 公开（公告）日： | 2016-08-03 |
| 发明（设计）人： | 刘燕文;田宏;朱虹;孟鸣凤;赵丽;谷兵 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | H01J9/38 | 分类号： | H01J9/38;H01J9/39 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种微波真空电子器件的零件的除气方法，包括步骤：(1)将所述零件置于一含电子枪的真空腔内；(2)固定所述零件，使电子枪对准所述零件；(3)所述真空腔抽真空后，开启电子枪轰击所述零件，进行除气。该除气方法使零件尤其是收集极中的气体去除干净，从而大大缩短微波真空电子器件的老练时间，同时提高器件内的极限真空度，从而大大延长器件的寿命而产生巨大经济效益。本发明简单易行、成本低，气体去除效率高，可以大大减少微波电真空器件的老练时间，具有很高的经济价值。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 真空 电子器件 零件 方法 装置 系统 | ||
【主权项】：
一种微波真空电子器件的零件的除气方法，其特征在于包括以下步骤：(1)将所述零件置于一含电子枪的真空腔内；(2)固定所述零件，使电子枪对准所述零件；(3)所述真空腔抽真空后，开启电子枪轰击所述零件，进行除气。
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