[发明专利]微波真空电子器件的零件除气方法、装置和系统在审

专利信息
申请号: 201610231720.8 申请日: 2016-04-14
公开(公告)号: CN105826148A 公开(公告)日: 2016-08-03
发明(设计)人: 刘燕文;田宏;朱虹;孟鸣凤;赵丽;谷兵 申请(专利权)人: 中国科学院电子学研究所
主分类号: H01J9/38 分类号: H01J9/38;H01J9/39
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 任岩
地址: 100190 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种微波真空电子器件的零件的除气方法,包括步骤:(1)将所述零件置于一含电子枪的真空腔内;(2)固定所述零件,使电子枪对准所述零件;(3)所述真空腔抽真空后,开启电子枪轰击所述零件,进行除气。该除气方法使零件尤其是收集极中的气体去除干净,从而大大缩短微波真空电子器件的老练时间,同时提高器件内的极限真空度,从而大大延长器件的寿命而产生巨大经济效益。本发明简单易行、成本低,气体去除效率高,可以大大减少微波电真空器件的老练时间,具有很高的经济价值。
搜索关键词: 微波 真空 电子器件 零件 方法 装置 系统
【主权项】:
一种微波真空电子器件的零件的除气方法,其特征在于包括以下步骤:(1)将所述零件置于一含电子枪的真空腔内;(2)固定所述零件,使电子枪对准所述零件;(3)所述真空腔抽真空后,开启电子枪轰击所述零件,进行除气。
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