[发明专利]氦气循环加热系统

摘要

本发明公开了一种氦气循环加热系统，包括氦气瓶、氦气压缩机、真空增压泵、缓冲罐、质量流量计、减压阀、加热器、过滤器、球床、回热器、冷却器、冷水机组、阀门；所述氦气压缩机前端的缓冲罐、所述氦气压缩机、后端的缓冲罐、所述质量流量计、所述减压阀、所述回热器、加热器、过滤器、球床、冷却器首尾依次相连，形成闭环；所述氦气压缩机与所述真空增压泵并联连接；所述回热器用于利用球床出口端的氦气热量，提高能量利用效率；所述加热器用于加热氦气，所述冷却器用于将循环氦气换热至常温，便于再次参与循环。本发明能够对循环氦气的流量、温度及压力进行宽范围组合调节，同时提高了氦气利用率，降低了成本。

主权项

一种氦气循环加热系统，包括氦气瓶、氦气压缩机、真空增压泵、缓冲罐、质量流量计、减压阀、加热器、过滤器、球床、回热器、冷却器、冷水机组、阀门；其特征在于，所述缓冲罐包括设置在氦气压缩机前端的缓冲罐及后端的缓冲罐,用于稳定系统中的压力；所述氦气压缩机前端的缓冲罐、所述氦气压缩机、后端的缓冲罐、所述质量流量计、所述减压阀、所述回热器、加热器、过滤器、球床、冷却器首尾依次相连，形成闭环；所述氦气瓶的输出端通过自密封接口连接所述缓冲罐与所述冷却器相连的一端；所述氦气压缩机与所述真空增压泵并联连接；所述氦气压缩机用于将系统中的氦气增压到目标压力值附近；所述真空增压泵用于对系统进行抽空或增压；所述质量流量计用于测量进入球床的氦气流量；所述氦气压缩机与所述冷却器使用冷水机组进行降温；所述回热器用于利用球床出口端的氦气热量；所述加热器用于加热氦气，所述冷却器用于将循环氦气换热至常温。