[发明专利]一种氧化锆陶瓷材料在制备导线轮上的应用有效
| 申请号： | 201610233014.7 | 申请日： | 2016-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN105884349B | 公开（公告）日： | 2019-05-31 |
| 发明（设计）人： | 王平进;金海潮;王凯翔;张其灿;李国安 | 申请（专利权）人： | 横店集团浙江英洛华电子有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/48 | 分类号： | C04B35/48 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 林君勇 |
| 地址： | 322118 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体技术领域，本发明涉及多线切割机中使用的导线轮，具体涉及一种氧化锆陶瓷材料在制备导线轮上的应用，所述的氧化锆陶瓷材料为复合氧化锆，主要组成成分是按质量百分比计的≥75%的氧化锆和余量的添加剂，其中，所述的添加剂任选氧化钇、氧化钙或二氧化铈中的一种。本发明有效解决了现有材质的导线轮存在的耐磨性差，并因在高速运转的时产生大量的热而导致的热膨胀及变形问题，能完全满足导线轮所需承受的抗压能力，不易变形，同时达到减少损耗，延长使用寿命，降低生产成本的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化锆 陶瓷材料 制备 导线 应用 | ||
【主权项】：
1.一种氧化锆陶瓷材料在制备导线轮上的应用，其特征在于所述的氧化锆陶瓷材料为复合氧化锆，主要组成成分是按质量百分比计的≥75%的氧化锆和余量的添加剂，其中，所述的添加剂任选氧化钙或二氧化铈中的一种,所述的氧化锆的粉体粒径小于10μm，添加剂的粉体粒径小于6μm,所述的复合氧化锆满足：粉料的灼烧减量≤8%，松装密度≥1.1g/cm3，水分≤6%,所述的导线轮是指多线切割机用导线轮，所述的导线轮按下述方法制备：（1）复合氧化锆在20KN~200KN的成型压力下干压成型，（2）选用‑0.05MPa~‑0.1MPa真空度抽真空，抽真空时间为5s以上，再在100MPa~250MPa的成型压力下进行等静压成型，所述的等静压成型的保压时间为100s~200s，（3）再经数控机床加工，（4）然后在温度为1350℃~1600℃温度下烧结而成，所述的烧结的时间为25h~50h。
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