[发明专利]多方向宽频压电MEMS振动能量采集器及其制备方法有效
| 申请号： | 201610234014.9 | 申请日： | 2016-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN105720861B | 公开（公告）日： | 2017-07-07 |
| 发明（设计）人： | 唐刚;邬文静;胡敏;徐斌;闫肖肖;陈翔;徐兵;候诚;邹鹏君;杨方毅 | 申请（专利权）人： | 南昌工程学院 |
| 主分类号： | H02N2/18 | 分类号： | H02N2/18 |
| 代理公司： | 南昌市平凡知识产权代理事务所36122 | 代理人： | 夏材祥 |
| 地址： | 330099 *** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 一种多方向宽频压电MEMS振动能量采集器及其制备方法，包括基座和形成在所述基座上的多个压电悬臂梁、微弹簧、弹簧底座、永磁铁、软磁铁，压电悬臂梁由支撑层以及在基座上依次形成的下电极层、环氧树脂粘接层、压电厚膜层、上电极层等组成，压电悬臂梁阵列在基座空腔位置均匀布置，一端固定在基座上，另一端悬空，软磁铁固定于悬臂梁的悬空端；微弹簧上端与永磁铁连接，下端固定在弹簧底座上；基座与弹簧底座通过粘接键合连接，微弹簧位于基座空腔中心位置，且其上永磁铁与压电悬臂梁上的软磁铁在垂直方向上保持一定的距离。本发明实现了多方向宽频振动能量的采集，提高了多方向振动环境的能量采集及转换效率，解决了器件加工与MEMS工艺相兼容问题。 | ||
| 搜索关键词： | 多方 宽频 压电 mems 振动 能量 采集 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
多方向宽频压电MEMS振动能量采集器，其特征在于，包括：基座和形成在所述基座上的多个压电悬臂梁、微弹簧、弹簧底座、永磁铁、软磁铁，其中：压电悬臂梁在基座空腔位置均匀布置，且每个压电悬臂梁的一端固定在基座上，另一端悬空，软磁铁固定于悬臂梁的悬空端；微弹簧上端与永磁铁连接，下端固定在弹簧底座上；基座与弹簧底座通过粘接连接，微弹簧位于基座空腔中心位置，且其上永磁铁与压电悬臂梁上的软磁铁在垂直方向上保持一定距离；所述的压电悬臂梁包括：支撑层以及在基座上依次形成的下电极层、环氧树脂粘接层、压电厚膜层、上电极层；所述的基座材料是(100)面双面氧化的普通硅片或SOI硅片；所述的多个压电悬臂梁，数量为3‑6个；所述的支撑层与基座为一整体，通过微加工制作，其厚度范围为15‑20μm。
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