[发明专利]在带电粒子装置的真空室中操纵样品的方法有效
| 申请号： | 201610235217.X | 申请日： | 2016-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN106057617B | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | T.维斯塔韦;P.C.M.巴肯;E.J.R.维斯塞尤尔;P.波劳塞克 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 申屠伟进;王传道 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种在带电粒子装置的真空室中操纵样品（100）的方法，方法在所述真空室中执行，方法包括：·在第一衬底（300）上提供样品（100）的步骤，·使操纵器的极值端（304）与样品接触的步骤，·将样品附着到所述极值端的步骤，该附着是可去除附着，·将被附着到操纵器的极值端的样品从第一衬底提升并将样品传送到第二衬底（308）的步骤，·将样品附着到第二衬底的步骤，·将样品从操纵器的极值端分开的步骤，其特征在于·附着样品的步骤中的至少一个仅仅通过使样品与一束碳纳米管（306）接触被执行。碳纳米管（CNT）功能区域的使用导致用于将样品附着/分开的快速方法，从而避免了在静电夹持时丢失样品的风险或使用机械夹持器时的机械变形的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子 装置 真空 操纵 样品 方法 | ||
【主权项】：
一种在带电粒子装置的真空室中操纵样品（100）的方法，该方法在所述真空室中执行，该方法包括：· 在第一衬底（300）上提供样品（100）的步骤，· 使操纵器的极值端（106）与样品接触的步骤，· 将样品附着到所述极值端的步骤，该附着是可去除附着，· 将被附着到操纵器的极值端的样品从第一衬底提升并将样品传送到第二衬底（102、308）的步骤，· 将样品附着到第二衬底的步骤，· 将样品从操纵器的极值端分开的步骤，其特征在于· 附着样品的步骤中的至少一个仅仅通过使样品与一束碳纳米管（104、306）接触而被执行。
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