[发明专利]一种基于石墨烯的表面等离子激元电吸收光调制器有效
| 申请号： | 201610236215.2 | 申请日： | 2016-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN105700266B | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 杨青;鲁航文;庞陈雷;徐鹏飞;刘旭 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G02F1/17 | 分类号： | G02F1/17 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于石墨烯的表面等离子激元电吸收光调制器，包括：衬底，在衬底上叠放的第一微纳波导和第二微纳波导，位于第一微纳波导和第二微纳波导之间的介质层和第一单层石墨烯，以及分别与所述第一微纳波导和第二微纳波导连接并用以施加调制电压的第一电极和第二电极；所述的第一微纳波导和第二微纳波导中的至少一种为金属波导；所述的第一单层石墨烯位于其中一个金属波导和介质层之间；且其中一个电极通过所述的第一单层石墨烯与对应的金属波导连接。本发明采用波导垂直排布的结构设计，结合石墨烯和SPP的优势，使调制深度高于已有电吸收调制器，达到70％以上；且器件的结构电容较小，极大提高了器件的整体响应速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 石墨 表面 等离子 激元电 吸收 调制器 | ||
【主权项】：
1.一种基于石墨烯的表面等离子激元电吸收光调制器，其特征在于，包括：衬底，在衬底上叠放的第一微纳波导和第二微纳波导，位于第一微纳波导和第二微纳波导之间的介质层和第一单层石墨烯，以及分别与所述第一微纳波导和第二微纳波导连接并用以施加调制电压的第一电极和第二电极；所述的第一微纳波导和第二微纳波导中的至少一种为金属波导；所述的第一单层石墨烯位于其中一个金属波导和介质层之间；且其中一个电极通过所述的第一单层石墨烯与对应的金属波导连接。
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