[发明专利]一种提高场效应晶体管式气体传感器选择性的方法

摘要

本发明涉及一种提高场效应晶体管式气体传感器选择性的方法，它包括以下步骤：1)制作场效应晶体管气体传感器；2)获得场效应晶体管气体传感器的转移曲线；3)从场效应晶体管气体传感器的转移曲线中得到各参数，并且计算不同气体各参数的变化率P；4)根据气体类别和各参数的变化率预先设定参数的变化率阈值，判断参数的变化率阈值与某参数的变化率的大小；5)根据各参数的变化率取值制定真值表，根据真值表分辨不同气体，完成对不同气体的甄别，提高了场效应晶体管式气体传感器的选择。本发明通过场效应晶体管的各参数的变化率与真值表结合的方法来分辨不同气体分子，易于识别。

主权项

一种提高场效应晶体管式气体传感器选择性的方法，其特征在于：它包括以下步骤：1)制作场效应晶体管气体传感器；2)对不同浓度气体的响应情况，通过测试仪获得场效应晶体管气体传感器的转移曲线；3)从场效应晶体管气体传感器的转移曲线中得到迁移率μ、阈值电压V_T、关态电流I_off、开态电流I_on和亚阈值斜率的参数，并且计算得到不同气体各参数的变化率P；4)根据气体类别和各参数的变化率预先设定参数的变化率阈值，判断参数的变化率阈值与某参数的变化率的大小，如果某参数的变化率大于预先设定的参数的变化率阈值，则该参数的变化率取值为1；如果某参数的变化率小于预先设定的参数的变化率阈值，则该参数的变化率取值为0；5)根据各参数的变化率取值制定真值表，根据真值表分辨不同气体，真值表中每一组0和1的组合就表示某种气体，完成对不同气体的甄别。