[发明专利]一种透射电子显微镜用双轴倾转样品杆

摘要

一种透射电子显微镜用双轴倾转样品杆，包括样品杆杆身主体、前端倾转台、驱动杆、连杆、倾转轴、旋转轴、驱动杆固定轴和样品载台。前端倾转台留有轴孔,通过倾转轴与样品杆杆身主体相连接。通过旋转轴使连杆、凸台卡槽和驱动杆卡槽相连接。样品杆杆身前端两侧位置设计对称的两个贯通的运动导槽，通过驱动杆固定轴固定驱动杆，约束驱动杆在杆身主体后端的直线步进电机驱动下，进行往复式直线运动，进而使样品台绕倾转轴旋转。本装置可通过高精度直线步进电机精确控制样品载台倾转角度。本装置可通过前端倾转台下表面凸台与水平方向上的夹角和运动导槽的长度来调节样品台的最大倾转角度。本装置可以与常规的透射电子显微镜配合使用，通用性广。

主权项

1.一种透射电子显微镜用双轴倾转样品杆，其特征在于包括样品杆杆身主体、前端倾转台、驱动杆、连杆、倾转轴、旋转轴、驱动杆固定轴和样品载台；样品杆杆身分为三个部分，后端放置直线电机，中段及前端分别为中空圆柱体；倾转台整体为左右对称结构，为U型结构和凸台的组合，所述凸台为左右对称结构，包括水平部分和与水平部分成θ角的倾斜部分，θ角为30‑45度；在倾斜部分末端设有旋转轴轴孔；凸台水平部分一端开有凸台卡槽，且中间开有便于电子束透过的通孔；凸台的水平部分嵌在U形结构之间，连杆一端为驱动杆固定轴，另一端为旋转轴，通过旋转轴和连杆让凸台卡槽和驱动杆卡槽相连接；样品杆杆身前端开有对应的倾转轴连接孔，前端倾转台开有与倾转轴配合的连接孔，样品杆杆身前端两侧位置设计对称的两个贯通的运动导槽，运动导槽内设有驱动杆固定轴来固定驱动杆，约束驱动杆在直线步进电机驱动下，进行前后往复式直线运动，进而使倾转台绕倾转轴旋转。