[发明专利]单片集成的体声波双工器及其制造方法有效
| 申请号： | 201610238587.9 | 申请日： | 2016-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN105897216B | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 高杨;蔡洵;赵坤丽;黄振华;尹汐漾;赵俊武;韩宾 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | H03H9/05 | 分类号： | H03H9/05 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人： | 蒋斯琪 |
| 地址： | 621900 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单片集成的体声波双工器及其制造方法，由发射带通滤波器、接收带通滤波器和移相器构成，其中，发射带通滤波器由彼此互连的至少两个FBAR构成，接收带通滤波器由彼此互连的至少两个FBAR构成，移相器由一个电感器和两个电容器构成，FBAR由底电极、压电层和顶电极构成，电容器由底电极、介电层和顶电极构成，接收带通滤波器、发射带通滤波器和移相器均在同一衬底上制造而成。由于本发明的制造方法可以将发射带通滤波器、接收带通滤波器及移相器集成到一个芯片上，因此能提供满足移动通信设备小型化需求的双工器。 | ||
| 搜索关键词： | 单片 集成 声波 双工器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.单片集成的体声波双工器，其特征在于：包括发射带通滤波器、接收带通滤波器和移相器，其中，发射带通滤波器包括至少两个串联的FBAR和至少一个并联的FBAR，或者发射带通滤波器包括至少一个串联的FBAR和至少一个并联的FBAR，接收带通滤波器包括至少两个互连的FBAR，移相器包括一个电感器和分别连接于电感器两端的第一电容器、第二电容器；所述FBAR均至少包括底电极和顶电极，所述电容器包括底电极、介电层和顶电极；所述接收带通滤波器、发射带通滤波器和移相器均在同一衬底上制造而成；所述发射带通滤波器和接收带通滤波器中的FBAR之间通过顶电极引线或底电极引线连通；所述发射带通滤波器、接收带通滤波器与移相器之间，是发射带通滤波器、接收带通滤波器中的FBAR通过顶电极引线与移相器中的电容器、电感器连通实现，并且所述顶电极引线与第一顶电极层通过溅射工艺同时形成，底电极引线与第一底电极层通过溅射工艺同时形成。
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