[发明专利]一种汽轮机转子轮槽量规表面耐磨涂层的制备方法有效
| 申请号： | 201610239273.0 | 申请日： | 2016-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN105671552B | 公开（公告）日： | 2018-04-10 |
| 发明（设计）人： | 张东民;张而耕;姚松骏;恽庞杰;刘铭心;盛育东;冯全华;曹启伟;陈厚良 | 申请（专利权）人： | 上海应用技术学院;上海应术电站配件有限公司 |
| 主分类号： | C23C28/04 | 分类号： | C23C28/04;C23C14/34;C23C14/06;C23C16/44;C23C16/27 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司31236 | 代理人： | 胡晶 |
| 地址： | 200235 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种汽轮机转子轮槽量规表面耐磨涂层的制备方法，包括步骤1，提供一无涂层的汽轮机转子轮槽量规和一真空炉，真空炉中设置有Ti靶材；步骤2，将无涂层的汽轮机转子轮槽量规置于真空炉内，对无涂层的汽轮机转子轮槽量规的表面进行加靶活化；步骤3，对表面已完成活化的汽轮机转子轮槽量规进行TiN涂层沉积调节真空炉炉腔温度为180～200℃，向真空炉腔中通入N2气，N2气体流量为150～180sccm，对Ti靶材通电作为蒸发源，通电电流为120～140A，在汽轮机转子轮槽量规上加偏压为150～180V，持续15～20min后完成TiN涂层沉积并进入下一步；步骤4，在TiN涂层表面进行DLC涂层沉积。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 汽轮机 转子 量规 表面 耐磨 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种汽轮机转子轮槽量规表面耐磨涂层的制备方法，其特征在于，包括：步骤1，提供一无涂层的汽轮机转子轮槽量规和一真空炉，所述真空炉中设置有Ti靶材；步骤2，将所述无涂层的汽轮机转子轮槽量规置于所述真空炉内，对所述无涂层的汽轮机转子轮槽量规的表面进行加靶活化，进行加靶活化的过程具体为：调节所述真空炉炉腔温度为180～200℃，向真空炉腔中通入Ar气，Ar气流量为180～200sccm，同时Ti靶材通电作为蒸发源，通电电流为100～120A，设置基体偏压为400～450V，持续15～20min后完成加靶活化；步骤3，对表面已完成加靶活化的汽轮机转子轮槽量规进行TiN涂层沉积：调节所述真空炉炉腔温度为180～200℃，向真空炉腔中通入N2气，N2气体流量为150～180sccm，对Ti靶材通电作为蒸发源，通电电流为120～140A，在汽轮机转子轮槽量规上加偏压为150～180V，持续15～20min至所述TiN的厚度为0.5～0.8μm后完成TiN涂层沉积并进入下一步；步骤4，在所述TiN涂层表面进行DLC涂层沉积：停止向真空炉中通入N2气，真空炉腔停止加热，Ti靶材停止通电，设置基体偏压为650～700V，向真空炉腔中通入C2H2，在DLC涂层制备依次进行的三个阶段中C2H2的流量随沉积时间梯度升高，第一阶段C2H2流量为30～40sccm，沉积时间为5～10min，第二阶段C2H2流量为80～90sccm，沉积时间为15～20min，第三阶段C2H2流量为130～140sccm，沉积时间为55～60min。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海应用技术学院;上海应术电站配件有限公司，未经上海应用技术学院;上海应术电站配件有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610239273.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种管道酸洗工艺
- 下一篇：一种电炉丝用高发射率涂层的制备方法
- 同类专利
- 专利分类
