[发明专利]一种具有强垂直磁各向异性的多层膜

摘要

本发明一种具有强垂直磁各向异性的多层膜，其特征在于采用铋(Bi)或者Bi合金与铁磁层界面的强界面垂直磁各向异性来获得强垂直磁各向异性。本发明共提出四种实施方案，方案一：该多层膜结构从下到上依次是缓冲层、铁磁层和氧化物势垒层；方案二：该多层膜结构从下到上依次是氧化物势垒层、铁磁层和覆盖层；方案三：该多层膜结构从下到上依次是氧化物势垒层一、铁磁层一、中间层、铁磁层二和氧化物势垒层二。在该氧化物势垒层一的下面还可以有基底；方案四：该多层膜结构从下到上依次是缓冲层、铁磁层一、氧化物势垒层、铁磁层二和覆盖层，该多层膜结构可以作为磁隧道结的核心结构。

主权项

1.一种具有强垂直磁各向异性的多层膜，其特征在于：该多层膜结构从下到上依次是缓冲层、铁磁层和氧化物势垒层，并且在氧化物势垒层上沉积一层保护层；所述缓冲层的材料是Bi或者Bi合金，缓冲层的厚度为0.2‑200nm；所述铁磁层的材料是CoFeB、铁硼FeB、钴铁CoFe、铁Fe、Heusler合金材料中的一种材料或几种材料的组合，铁磁层的厚度为0.2‑5nm；所述氧化物势垒层的材料是镁氧化物、铝氧化物、镁铝氧化物、铪氧化物、钽氧化物材料中的一种材料或几种材料的组合，氧化物势垒层的厚度为0.2‑5nm；其中，在该缓冲层的下面增加有基底。