[发明专利]一种氢气混合气净化氯硅烷与氯化氢的工艺有效
| 申请号： | 201610241111.0 | 申请日： | 2016-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN105935537B | 公开（公告）日： | 2018-10-02 |
| 发明（设计）人： | 杨皓;宁平;王娟芸 | 申请（专利权）人： | 杨皓 |
| 主分类号： | B01D53/02 | 分类号： | B01D53/02;B01D53/04;B01D53/053;C01B3/56 |
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| 地址： | 610036 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明通过两段吸附可将混合气中3％(摩尔比)的氯硅烷与氯化氢的含氯成分控制在0.1mg/Nm3以内，第一段吸附将粗净化气含氯成分控制在90～100mg/Nm3，顺向降压气含氯成分控制在5000～10000mg/Nm3，吸附塔再生采用变温变压吸附工艺，吸附剂加热同时逆向降压、顺向降压气热吹、吸附剂降温同时用第二段顺向降压解吸气冷吹，吸附塔采用原料气升压；第二段净化气的含氯成分控制在0.1mg/Nm3以内，顺向降压气含氯成分控制在90～100mg/Nm3，吸附塔再生采用变压吸附工艺，再生过程包含顺向降压解吸、逆向降压解吸，净化气60KPa吹扫，逆解气与吹扫气直接与一段再生气混合送循环压缩机。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氢气 混合 净化 硅烷 氯化氢 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种氢气混合气净化氯硅烷与氯化氢的工艺，其特征在于：氯硅烷与氯化氢摩尔比为3％，脱除氯硅烷与氯化氢气体，要求把含氯成分控制在0.1mg/Nm3以内，设立两段吸附分离设备：第一段吸附过程，粗净化气把含氯成分控制在90～100mg/Nm3以内，第一段吸附塔再生过程，采用变温变压吸附工艺，再生过程包含吸附塔顺向降压到吸附压力的1/3以下，第一段顺向降压气含氯成分控制在5000～10000mg/Nm3以内，吸附剂加热，其中温度控制在吸附工作温度的5倍以下，同时逆向降压、顺向降压气对吸附剂热吹、吸附剂降温，其中温度控制在吸附工作温度的1.5倍以下，同时吸附剂冷吹，冷吹气来源于第二段顺向降压解吸气，含氯成分控制在90～100mg/Nm3以内，吸附塔采用原料气升压；第二段净化气把含氯成分控制在0.1mg/Nm3以内，吸附塔再生采用变压吸附工艺，除均压过程外，再生过程包含顺向降压解吸，第一段顺向降压气含氯成分控制在90～100mg/Nm3以内，用于第一段的冷吹过程，再生过程还包含逆向降压解吸，净化气60KPa吹扫，逆解气与吹扫气直接与一段再生气直接混合送循环压缩机。
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