[发明专利]一种快速光刻系统在审
| 申请号： | 201610241127.1 | 申请日： | 2016-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN105700302A | 公开（公告）日： | 2016-06-22 |
| 发明（设计）人： | 张瑞杰;彭强 | 申请（专利权）人： | 天津中精微仪器设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京众元弘策知识产权代理事务所(普通合伙) 11462 | 代理人： | 孙东风 |
| 地址： | 301800 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种快速光刻系统，包括放置待刻工件的操作台、以及对所述待刻工件进行光刻的光刻装置，所述操作台为气浮转台，所述待刻工件被固定设置于所述气浮转台的台面上；还包括用于接收外部输入的待刻工件所对应的加工信息的待刻信息输入单元、用于实时反馈待刻工件相对于光刻装置所处的相对位置信息的待刻工件位置信息反馈单元、和用于根据待刻工件位置信息和待刻信息而驱动所述光刻装置对待刻工件实行光刻的待刻信息输出调制控制器。本发明中，通过在气浮转台上设置待刻工件，并通过分别控制光纤束中每个光纤的光射出与光关闭，使得能够一次性完成大数据量的光刻动作，不仅能够满足个性化的定制需求，同时也大幅提高了光刻效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 光刻 系统 | ||
【主权项】：
一种快速光刻系统，包括放置待刻工件的操作台、以及对所述待刻工件进行光刻的光刻装置，其特征在于，所述操作台为气浮转台，所述待刻工件被固定设置于所述气浮转台的台面上；还包括用于接收外部输入的待刻工件所对应的加工信息的待刻信息输入单元、用于实时反馈待刻工件相对于光刻装置所处的相对位置信息的待刻工件位置信息反馈单元、和用于根据待刻工件位置信息和待刻信息而驱动所述光刻装置对待刻工件实行光刻的待刻信息输出调制控制器；其中，所述待刻信息输入单元接收外部输入的待刻信息，并将所述待刻信息发送至待刻信息输出调制控制器；所述待刻信息输出调制控制器根据接收到的待刻信息、并结合所述待刻工件位置信息反馈单元反馈的待刻工件位置信息向所述光刻装置发出光刻控制信号；所述光刻装置根据所述光刻控制信号对所述待刻工件进行光刻。
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