[发明专利]掩膜板、蒸镀装置及蒸镀方法在审
| 申请号： | 201610242604.6 | 申请日： | 2016-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN105714249A | 公开（公告）日： | 2016-06-29 |
| 发明（设计）人： | 薛丽红;康润芳 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人： | 乐卫国 |
| 地址： | 201506 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩膜板、蒸镀装置及蒸镀方法，掩膜板包括掩膜板本体，所述掩膜板本体上设置有通孔，所述掩膜板本体的第一表面上未设置通孔处设置有凹槽。使用时，将通孔与需要镀膜的颜色位置相对应，且将掩膜板本体靠近基板，使基板上的光阻隔离柱插入掩膜板本体上的凹槽位置，从而减小金属掩膜上端面与基板之间间隙，有效避免蒸镀材扩散至别的颜色上，造成混色的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种掩膜板，包括掩膜板本体，所述掩膜板本体上设置有通孔，其特征在于，所述掩膜板本体的第一表面上未设置所述通孔处设置有凹槽。
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