[发明专利]凹球面基底胶体涂覆装置及涂覆方法在审
| 申请号： | 201610243907.X | 申请日： | 2016-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN105700295A | 公开（公告）日： | 2016-06-22 |
| 发明（设计）人： | 金扬利;祖成奎;徐博;赵慧峰;韩滨;刘永华;赵华;王衍行;陈江 | 申请（专利权）人： | 中国建筑材料科学研究总院 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王伟锋;刘铁生 |
| 地址： | 100024*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种凹球面基底胶体涂覆装置及涂覆方法，其中涂覆装置包括：基台；载物台，设于基台上，所述载物台用于装载待喷涂凹球面基底，并可带动凹球面基底旋转，旋转中心轴与凹球面对称轴重合；可移动式光刻胶喷头，所述可移动式光刻胶喷头沿凹球面的半径喷射，所述可移动式光刻胶喷头可在凹球面内部移动以调整喷射角度，且喷涂距离不变，所述喷射角度为喷射方向与曲面对称轴之间的角度；加热单元，其加热面与凹球面基底的外表面相适配，对基底进行加热，加热单元置于所述载物台上。本发明可对半球凹曲面进行胶体涂覆，并且涂覆的胶层均匀性高。 | ||
| 搜索关键词： | 球面 基底 胶体 装置 方法 | ||
【主权项】：
凹球面基底胶体涂覆装置，其特征在于，包括：基台；载物台，设于基台上，所述载物台用于装载待喷涂凹球面基底，并可带动凹球面基底旋转，旋转中心轴与凹球面对称轴重合；可移动式光刻胶喷头，所述可移动式光刻胶喷头沿凹球面的半径喷射，所述可移动式光刻胶喷头可在凹球面内部移动以调整喷射角度，且喷涂距离不变，所述喷射角度为喷射方向与曲面对称轴之间的角度；加热单元，其加热面与凹球面基底的外表面相适配，对基底进行加热，所述加热单元置于所述载物台上。
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