[发明专利]基于级联光学谐振腔光学传感器

摘要

本发明公开了一种基于级联光学谐振腔光学传感器，包括波长可调光源、输入光栅、Y分支分束器、连接波导、表面开窗的传感光学谐振腔、表面开窗的参考光学谐振腔、表面不开窗的参考光学谐振腔、输出光栅和探测器；所述波长可调光源与输入光栅连接；表面开窗的传感谐振腔和表面开窗的参考谐振腔均与被测物质接触。被测变量影响作用或被测物质变化引起传感环形谐振腔谐振谱的移动。通过双谐振腔的级联输出谱，可以探测传感光学谐振腔谐振谱移动的自由光谱范围的移动数量，从而在保证传感器高灵敏度的同时，大大增加了级联双光学谐振腔传感器的探测范围。

主权项

1.一种基于级联光学谐振腔大范围高灵敏度光学传感器，其特征在于，它包括波长可调光源（1）、输入光栅（2）、Y分支分束器（3）、第一连接波导（41）、第二连接波导（42）、第三连接波导（43）、第四连接波导（44）、表面开窗的传感光学谐振腔（5）、表面开窗的参考光学谐振腔（6）、表面不开窗的参考光学谐振腔（7）、第一输出光栅耦合器（81）、第二输出光栅耦合器（82）、第三输出光栅耦合器（83）、第四输出光栅耦合器（84）和第一探测器（91）、第二探测器（92）、第三探测器（93）、第四探测器（94）；所述波长可调光源（1）与输入光栅（2）连接；所述输入光栅（2）与Y分支分束器（3）的输入端口（31）连接；所述Y分支分束器（3）的两个输出端口（32、33）分别与第三连接波导（43）和第四连接波导（44）相连；第一连接波导（41）和第二连接波导（42）均与表面开窗的参考光学谐振腔（6）耦合；第二连接波导（42）和第三连接波导（43）均与表面开窗的传感光学谐振腔（5）耦合；第三连接波导（43）和第四连接波导（44）均与表面不开窗的参考光学谐振腔（7）耦合；第一连接波导（41）、第一输出光栅耦合器（81）、第一探测器（91）依次连接，第二连接波导（42）、第二输出光栅耦合器（82）、第二探测器（92）依次连接，第三连接波导（43）、第三输出光栅耦合器（83）、第三探测器（93）依次连接，第四连接波导（44）、第四输出光栅耦合器（84）、第四探测器（94）依次连接。