[发明专利]双面抛光设备和抛光方法

摘要

提供了一种双面抛光设备和抛光方法，该双面抛光设备能够令人满意地执行高硬度材料的抛光。使上表面板旋转的第一旋转轴具有筒形，竖直地延伸，并且具有固定至其上端的卡箍；使太阳齿轮旋转的第二旋转轴可旋转地插入穿过筒形的第一旋转轴并竖直地延伸，并且具有固定至其上端的小齿轮；太阳齿轮具有筒形并且可旋转地支撑在第一旋转轴的上端部分的外侧，并具有形成在内周部上的内齿和与托架啮合的形成在外周部上的外齿；并且空隙部形成在第一旋转轴的上部处，并且在该空隙部中布置有行星齿轮，该行星齿轮与设置在用于驱动太阳齿轮的第二旋转轴上的小齿轮和太阳齿轮的内齿啮合，并且将第二旋转轴的旋转传递至太阳齿轮。

主权项

1.一种双面抛光设备，该双面抛光设备包括：/n环形的下表面板，该下表面板具有形成为抛光表面的上表面，并且该下表面板被支撑在基座上；/n上表面板，该上表面板具有形成为抛光表面的下表面，并且该上表面板以可竖直移动且可围绕第一旋转轴旋转的方式设置在所述下表面板的上方；/n托架，该托架布置在所述下表面板和所述上表面板之间并且该托架具有保持工件的通孔；/n上表面板旋转驱动机构，该上表面板旋转驱动机构包括卡箍并旋转地驱动所述上表面板，所述卡箍固定至所述第一旋转轴并且所述上表面板以可自由地上下运动的方式与该卡箍接合；/n托架旋转驱动机构，该托架旋转驱动机构包括：/n太阳齿轮，该太阳齿轮布置在所述下表面板的中心孔中并且与所述托架啮合而围绕第二旋转轴旋转；以及/n内齿轮，该内齿轮围绕所述下表面板布置并且与所述托架啮合，并且/n该托架旋转驱动机构在使所述托架围绕其轴线自转的同时使所述托架围绕所述太阳齿轮公转；以及/n驱动机构，该驱动机构旋转地驱动所述第二旋转轴，其中：/n使所述上表面板旋转的所述第一旋转轴具有筒形，所述第一旋转轴以可旋转的方式插入在所述下表面板的中心孔中并竖直地延伸，并且所述卡箍被固定至所述第一旋转轴的上端；/n使所述太阳齿轮旋转的所述第二旋转轴以可旋转的方式插入穿过用于驱动所述上表面板的筒形的所述第一旋转轴并竖直地延伸，并且小齿轮被固定至所述第二旋转轴的上端；/n所述太阳齿轮具有筒形并且以可旋转的方式支撑在用于驱动所述上表面板的所述第一旋转轴的上端部的外侧，并且所述太阳齿轮具有形成在内周部上的内齿和与所述托架啮合的形成在外周部上的外齿；并且/n空隙部形成在用于驱动所述上表面板的所述第一旋转轴的上部处，并且在该空隙部中布置有行星齿轮，该行星齿轮与设置在所述第二旋转轴上的所述小齿轮和所述太阳齿轮的所述内齿啮合，并且所述行星齿轮将通过所述驱动机构而旋转的所述第二旋转轴的旋转传递至所述太阳齿轮，/n将所述第一旋转轴和所述卡箍连接的连接部分设置在用于驱动所述上表面板的所述第一旋转轴的上端部处，并且该连接部分用作所述行星齿轮的旋转轴。/n