[发明专利]一种晶体硅太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明公开了一种晶体硅太阳能电池，所述晶体硅太阳能电池由多个功能层所构成，所述多个功能层分别为依次设置的基板，银导电膜，金属纳米图案层，光电转换半导体层，透明导电膜，抗反射层；所述抗反射层为由氮化铝/氧化硅组成的复合结构；所述金属纳米图案层至少包括两种形态的金属纳米图案区域，所述金属纳米图案区域呈棋盘式分布；所述金属纳米图案层的材料为镍。

主权项

一种晶体硅太阳能电池，其特征在于，所述晶体硅太阳能电池由多个功能层所构成，所述多个功能层分别为基板，银导电膜，金属纳米图案层，光电转换半导体层，透明导电膜，抗反射层；所述基板上沉积有所述银导电膜；所述银导电膜上形成有所述金属纳米图案层；所述金属纳米图案层表面上形成有所述光电转换半导体层；所述光电转换半导体层上形成有所述透明导电膜；所述透明导电膜上形成有所述抗反射层；所述抗反射层为由氮化铝/氧化硅组成的复合结构；所述金属纳米图案层至少包括两种形态的金属纳米图案区域，所述金属纳米图案区域呈棋盘式分布；所述金属纳米图案层的材料为镍；所述金属纳米图案区域的形态分别由半球形，圆台形和六棱柱形所组成；所述半球的厚度为25‑35纳米，所述圆台的厚度为20‑30纳米，所述六棱柱的厚度为20‑30纳米；所述氮化铝的厚度为氧化铝的1/5。