[发明专利]电子和离子的等离子体源

摘要

本发明公开了一种电子和离子的等离子体源，包括：空心阴极、空心阴极法兰、陶瓷绝缘子Ⅰ、筒形阳极、陶瓷绝缘子Ⅱ、发射体阴极法兰、陶瓷绝缘子Ⅲ、主法兰、等离子体源外壳、加速电极法兰、加速电极、发射体阴极、发射体阴极固定器、永磁体、永磁体固定器；空心阴极包括由铁氧体磁性钢制成的空心阴极外壳、难熔金属制成的小管、等离子体生成室、工作气体供给管道和等离子体衰减室，发射体阴极包括由铁氧体磁性钢制成的发射体阴极外壳和设于由铁氧体磁性钢制成的发射体阴极外壳内部的难熔金属制成的嵌块，难熔金属制成的嵌块内部上端开设有锥形凹槽，其下端设有与锥形凹槽连通的发射孔。本发明寿命长、稳定性强、效率高。

主权项

1.电子和离子的等离子体源，其特征在于，包括：空心阴极(1)、空心阴极法兰(2)、陶瓷绝缘子Ⅰ(3)、筒形阳极(4)、陶瓷绝缘子Ⅱ(5)、发射体阴极法兰(6)、陶瓷绝缘子Ⅲ(7)、主法兰(8)、等离子体源外壳(9)、加速电极法兰(10)、加速电极(11)、发射体阴极(12)、发射体阴极固定器(13)、永磁体(14)、永磁体固定器(15)；所述等离子体源外壳(9)上端安装主法兰(8)，所述等离子体源外壳(9)下端安装加速电极法兰(10)，所述加速电极(11)设于加速电极法兰(10)上，所述空心阴极(1)、筒形阳极(4)和发射体阴极(12)设于等离子体源外壳(9)内部并自上而下排列，所述空心阴极(1)与空心阴极法兰(2)连接，所述空心阴极法兰(2)通过陶瓷绝缘子Ⅰ(3)与筒形阳极(4)连接，所述筒形阳极(4)通过陶瓷绝缘子Ⅱ(5)与发射体阴极法兰(6)连接，所述发射体阴极法兰(6)通过陶瓷绝缘子Ⅲ(7)与主法兰(8)连接，所述发射体阴极(12)通过发射体阴极固定器(13)压紧在发射体阴极法兰(6)上，所述永磁体(14)通过永磁体固定器(15)压紧在筒形阳极(4)上；所述空心阴极(1)和筒形阳极(4)之间的距离为0.9‑1.5mm；所述空心阴极(1)下边缘和筒形阳极(4)下边缘之间的距离为5‑15mm；所述筒形阳极(4)和发射体阴极(12)之间的距离为0.9‑1.5mm；所述发射体阴极(12)和加速电极(11)之间的距离为6‑12mm；所述空心阴极(1)包括由铁氧体磁性钢制成的空心阴极外壳(101)、难熔金属制成的小管(102)、等离子体生成室(103)、工作气体供给管道(104)和等离子体衰减室(105)，所述难熔金属制成的小管(102)设于由铁氧体磁性钢制成的空心阴极外壳(101)内部，所述难熔金属制成的小管(102)内部形成等离子体生成室(103)，所述等离子体衰减室(105)设于由铁氧体磁性钢制成的空心阴极外壳(101)上部，所述等离子体生成室(103)与等离子体衰减室(105)之间设有工作气体供给管道(104)；所述由铁氧体磁性钢制成的空心阴极外壳(101)的工作区域的直径为11‑14mm，长度为12‑14mm，下边磨圆R＝1mm；所述等离子体生成室(103)为圆柱形，直径为3‑5mm，长度为40‑60mm；所述发射体阴极(12)包括由铁氧体磁性钢制成的发射体阴极外壳(121)和设于由铁氧体磁性钢制成的发射体阴极外壳(121)内部的难熔金属制成的嵌块(122)，所述难熔金属制成的嵌块(122)内部上端开设有锥形凹槽(122a)，其下端设有与锥形凹槽(122a)连通的发射孔(122b)；所述锥形凹槽(122a)的角度为90‑120°，发射孔(122b)的直径为1.3‑2mm，发射孔(122b)的发射通道长度为0.5‑1.5mm。