[发明专利]一种晶圆氧化用高温扩散炉管

摘要

本发明公开了一种晶圆氧化用高温扩散炉管，包括炉管本体，炉管本体内具有内腔，在炉管本体的一端设有第一进气口，第一进气口上设有第一匀气装置，第一匀气装置连接外部的第一进气管，在炉管本体的另一端设有第二进气口，第二进气口上设有第二匀气装置，第二匀气装置连接外部的第二进气管，且第一进气口设置在炉管本体一侧的上端，第二进气口设置在炉管本体另一侧的下端，在炉管本体的下端设有尾气排放口，尾气排放口设有过滤装置，过滤装置连接外部的尾气管道，本发明采用非对称设置的两个进气口，且均在进气口处安装匀气装置，能够进一步过滤进入内腔的气体，同时能够保证气体的均匀性，提高晶圆氧化的均匀性。

主权项

一种晶圆氧化用高温扩散炉管, 包括炉管本体（1），其特征在于：所述炉管本体（1）内具有内腔（2），在所述炉管本体（1）的一端设有第一进气口（3），所述第一进气口（3）上设有第一匀气装置（4），所述第一匀气装置（4）连接外部的第一进气管（5），在所述炉管本体（1）的另一端设有第二进气口（6），所述第二进气口（6）上设有第二匀气装置（7），所述第二匀气装置（7）连接外部的第二进气管（8），且所述第一进气口（3）设置在炉管本体（1）一侧的上端，所述第二进气口（6）设置在炉管本体（1）另一侧的下端，在所述炉管本体（1）的下端设有尾气排放口（9），所述尾气排放口（9）设有过滤装置（10），所述过滤装置（10）连接外部的尾气管道（11）。