[发明专利]薄膜厚度测量单元及包括其的薄膜沉积装置有效
| 申请号： | 201610247838.X | 申请日： | 2016-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN106560525B | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 薛在完 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;刘铮 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了薄膜厚度测量单元及包括其的薄膜沉积装置。作为示例，薄膜厚度测量单元包括：第一驱动电机；第一旋转轴，连接至所述第一驱动电机；第二旋转轴，倾斜地布置以与第一旋转轴形成预定角度；第一驱动力传递连结件，连接在所述第一旋转轴与所述第二旋转轴之间，并且随着所述第一旋转轴被驱动而驱动以使所述第二旋转轴一同被驱动；支承板，与所述第二旋转轴垂直地连接至所述第二旋转轴端部并且随着所述第二旋转轴的驱动而旋转；以及多个感测器，布置在所述支承板的一表面处并且测量由沉积源蒸发的沉积物质的量。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 厚度 测量 单元 包括 沉积 装置 | ||
【主权项】：
薄膜厚度测量单元，包括：第一驱动电机；第一旋转轴，连接至所述第一驱动电机；第二旋转轴，倾斜地布置以与所述第一旋转轴形成预定角度；第一驱动力传递连结件，连接在所述第一旋转轴与所述第二旋转轴之间，并且随着所述第一旋转轴被驱动而被驱动以使所述第二旋转轴一同被驱动；支承板，与所述第二旋转轴垂直地连接至所述第二旋转轴的端部并且随着所述第二旋转轴的驱动而旋转；以及多个感测器，布置在所述支承板的一表面处并且测量由沉积源蒸发的沉积物质的量。
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