[发明专利]一种全温区热电两场扫描电镜原位物性测量台及测量方法

摘要

本发明公开了一种全温区热电两场扫描电镜原位物性测量台及其测量方法，包括样品、样品压片、导热台、测温元件、加热元件、样品台盖子、冷却台顶、冷却管、冷却台底、绝热台顶、绝热柱、绝热台底、扫描电子显微镜连接柱、功能扩展孔、冷却管孔、导线孔、真空法兰模块、冷却控制模块、PID温控及电学测试模块。本发明可以进行样品材料热电性能研究，实现力学、电学和热学多物理场调控下的原位性能研究；实现快速制冷降温；充分利用样品台结构降低导热效果；防止了放电现象和加热过程中图像热干扰而出现层状条纹，使用同轴环状加热模块且采用导热性能良好的紫铜作样品导热台，测温元件处于加热模块和样品之间，实现准确的温度检测。

主权项

一种全温区热电两场扫描电镜原位物性测量台，其特征在于，所述全温区热电两场扫描电镜原位物性测量台包括：样品；所述样品放置在导热台，导热台用于搭载样品与样品压片，样品压片用于将样品固定在导热台上；导热台通过与冷却台顶连接的方式将测温元件和加热元件固定在两者之间，加热元件用于给样品提供一个连续变化的温度场，测温元件实时显示样品处的实际温度；所述冷却台顶与冷却台底连接将中间的冷却管固定，冷却管放置在冷却台底上表面的轨道凹槽中；所述冷却台底与绝热台顶连接，绝热台顶与绝热台底连接，绝热台底与扫描电子显微镜支持基座固定连接；样品台盖子与冷却台顶连接，样品台盖子采用铜材料，样品台盖子上表面有四个功能扩展孔；所述样品、测温元件与加热元件的导线经过真空法兰模块与外置PID温控及电学测试模块连接，冷却管通过冷却管孔再通过真空法兰模块与外置冷却控制模块连接，真空法兰模块实现扫描电子显微镜腔与空气的真空隔离。