[发明专利]一种可在线更换籽晶的方法在审
| 申请号： | 201610247987.6 | 申请日： | 2016-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN105862121A | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 余剑云;李庆跃;李凯;张会选;徐峰 | 申请（专利权）人： | 黄山市东晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B17/00 | 分类号： | C30B17/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人： | 沈陈;杨大庆 |
| 地址： | 245200 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了可在线更换籽晶的方法，使用一种泡生法蓝宝石晶体生长炉，包括如下步骤：打开电动挡板阀；将籽晶从主炉腔提升至副炉腔中；关闭电动挡板阀；打开冷却阀通入冷却气体；开启炉门更换籽晶；打开电动挡板阀并对主炉腔内部抽真空；下降籽晶杆重新引晶。上述泡生法蓝宝石晶体生长炉具有主炉腔和副炉腔，炉盖与副炉腔通过电动挡板阀隔开，在副炉腔左面设有冷却阀，右面设有开启副炉腔的炉门；籽晶杆安装在提拉系统上，并向下延伸依次穿过管体、副炉腔和炉盖，最终到达主炉腔的内部。本发明能够实现在线更换籽晶，具有能耗低、生产成本低的优点，与此同时可有效避免因籽晶问题无法引晶而耽误生产周期的发生，确保生产的连续性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 在线 更换 籽晶 方法 | ||
【主权项】：
一种可在线更换籽晶的方法，其特征在于：使用一种泡生法蓝宝石晶体生长炉，包括如下步骤：①打开电动挡板阀；②将籽晶从主炉腔提升至副炉腔中；③关闭电动挡板阀；④打开冷却阀通入冷却气体；⑤开启炉门更换籽晶；⑥打开电动挡板阀并对主炉腔内部抽真空；⑦下降籽晶杆重新引晶。
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