[发明专利]样品特定的参考光谱库有效
| 申请号： | 201610249972.3 | 申请日： | 2016-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN105954307B | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | M·J·欧文;A·唐纳森;G·豪厄尔;P·J·C·帕克 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N23/2251 | 分类号： | G01N23/2251 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周学斌;刘春元 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及样品特定的参考光谱库。提供了用于利用样品特定的参考光谱列表或库识别材料的方法和装置。通过执行两种或更多种材料分类分析来实施用于SEM‑EDS自动矿物学分类的有序方法。预分类步骤将光谱解卷算法的处理限制到通过主要矿物标准的光谱子集，从而导致以给定的最低量以足够纯净的形式出现在所测量的样品内的参考光谱的显著减小的子集。随后的涉及在所测量的光谱中对多种组分的解卷的复杂分类阶段是基于这个样品相关子集的。 | ||
| 搜索关键词： | 样品 特定 参考 光谱 | ||
【主权项】：
一种识别样品中的材料的方法，包括以下步骤：获得针对样品上的所选择的点的光谱；对针对每个点的光谱执行第一分析以识别以纯相形式的任何材料；形成在所述样品上的所选择的点中的任何点处被识别为以纯相形式的材料的样品特定的库；以及使用所述样品特定的库来对在所选择的点处取得的光谱执行第二分析以确定在所选择的点处所述样品的成分。
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