[发明专利]一种用于光波导的Ge-Se-Zn硫系薄膜材料及其制备方法有效
| 申请号： | 201610250638.X | 申请日： | 2016-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN106560526B | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 王慧;王国祥;沈祥;许银生;陈飞飞;吕业刚;聂秋华;焦清;师道田;陈益敏 | 申请（专利权）人： | 宁波大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 宁波奥圣专利代理事务所(普通合伙) 33226 | 代理人： | 何仲 |
| 地址： | 315211 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种用于光波导的Zn‑Se‑Ge硫系薄膜材料及其制备方法，特点其化学结构式为ZnxSeyGez，其中28 |
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| 搜索关键词： | 一种 用于 波导 ge se zn 薄膜 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于光波导的Ge‑Se‑Zn硫系薄膜材料，其特征在于：该材料为Zn‑Se‑Ge的化合物，其化学结构式为ZnxSeyGez，其中33.4≤x≤37.8，35.1≤y≤43.3，18.9≤z≤31.5，x+y+z=100。
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