[发明专利]玻璃晶圆激光标识的制作方法在审
| 申请号： | 201610253578.7 | 申请日： | 2016-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN105710538A | 公开（公告）日： | 2016-06-29 |
| 发明（设计）人： | 任霄峰;董磊;范兰兰;徐永青 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/60 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 王占华 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种玻璃晶圆激光标识的制作方法，涉及专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备技术领域。所述方法包括如下步骤：将玻璃晶圆放置于硅材料的表面并紧密贴合在一起，使玻璃晶圆上待打标位置位于硅材料之上；使用激光束按照设定的参数透过玻璃晶圆照射在玻璃晶圆与硅材料的界面处，界面处的硅材料在激光束的作用下发生烧蚀及升华，升华后的硅材料在与硅材料贴合的玻璃晶圆上形成激光标识。所述方法以易于实现激光打标的硅材料为承载物，通过标识转移，实现玻璃晶圆激光标识的制备，具有工艺简单、速度快、成本低、品质高的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 激光 标识 制作方法 | ||
【主权项】：
一种玻璃晶圆激光标识的制作方法，其特征在于所述方法包括如下步骤：1）将玻璃晶圆（1）放置于硅材料（2）的表面并紧密贴合在一起，使玻璃晶圆（1）上待打标位置位于硅材料（2）之上；2）激光束按照设定的参数透过玻璃晶圆（1）照射在玻璃晶圆（1）与硅材料（2）的界面处，界面处的硅材料在激光束的作用下发生烧蚀及升华，升华后的硅材料在与硅材料贴合的玻璃晶圆（1）上形成激光标识（3），形成的激光标识（3）与参数设定的标识成镜像关系。
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