[发明专利]一种光学元件吸收缺陷损伤特性的测试系统及方法

摘要

本发明提供了一种光学元件吸收缺陷损伤特性的测试系统及方法，属于光学元件吸收缺陷的损伤特性测试领域。所述光学元件吸收缺陷损伤特性的测试系统包括光热弱吸收测试装置、损伤测试光源以及损伤监测显微镜。所述光热弱吸收测试装置用于测试待测光学元件的吸收缺陷对泵浦光的吸收值。所述损伤测试光源用于发出损伤测试激光作用于所述待测光学元件的所述吸收缺陷处。所述损伤监测显微镜用于获取所述待测光学元件的所述吸收缺陷在所述损伤测试激光的作用下的损伤特性。因此，本发明可以有效地实现对待测光学元件吸收缺陷的损伤性能的表征，进而获得待测光学元件的吸收缺陷的吸收水平与损伤特性的定量关系。

主权项

1.一种光学元件吸收缺陷损伤特性的测试系统，其特征在于，包括光热弱吸收测试装置、损伤测试光源以及损伤监测显微镜；所述光热弱吸收测试装置用于测试待测光学元件的吸收缺陷对泵浦光的吸收值；所述损伤测试光源用于发出损伤测试激光作用于所述待测光学元件的所述吸收缺陷处；所述损伤监测显微镜用于获取所述待测光学元件的所述吸收缺陷在所述损伤测试激光的作用下的损伤特性；所述光热弱吸收测试装置包括离轴抛物镜、样品台、探测器、探测光源及泵浦光源，所述待测光学元件安装在所述样品台上，所述样品台用于调节所述待测光学元件的位置；所述探测光源用于发出探测光聚焦于所述待测光学元件的所述吸收缺陷处；所述离轴抛物镜用于将所述泵浦光源发出的泵浦光以及所述损伤测试光源发出的损伤测试激光均聚焦于所述吸收缺陷处；所述探测器用于接收并分析透过所述待测光学元件的探测光得到所述待测光学元件的吸收缺陷对所述泵浦光的吸收值；所述系统还包括光束耦合镜，所述泵浦光源发出的泵浦光及所述损伤测试光源发出的损伤测试激光均通过所述光束耦合镜入射到所述离轴抛物镜，经所述离轴抛物镜反射后聚焦到所述待测光学元件的吸收缺陷处，其中，入射到所述离轴抛物镜的所述泵浦光的光轴与入射到所述离轴抛物镜的所述损伤测试激光的光轴均与预设光轴重合，且所述预设光轴与所述离轴抛物镜的光轴重合或平行，所述光束耦合镜为合束镜。