[发明专利]非对称电极二维材料/石墨烯异质结级联光电探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种非对称电极二维材料/石墨烯异质结级联光电探测器及其制备方法，该探测器包括Si/SiO₂衬底，所述Si/SiO₂衬底上设有第一电极，所述第一电极上设有二维材料层，所述二维材料层上设有第二电极，所述二维材料层为石墨烯与二维材料交叠形成n层异质结。本发明采用功函数不同的非对称电极，促进了由第一电极到第二电极费米能级差的形成，可以使光生载流子产生后迅速扩散至外电路，同时由于能级差的存在也避免了电子空穴的迅速复合，由此可以增大器件的光响应；采用石墨烯与二维材料相结合，分别利用了石墨烯的高的载流子迁移率、超快的响应时间，以及二维材料对光的高吸收率，可以实现超快，超高响应的光电探测器。

主权项

非对称电极二维材料/石墨烯异质结级联光电探测器，其特征在于，包括Si/SiO₂衬底(1)，所述Si/SiO₂衬底(1)上设有第一电极(2)，所述第一电极(2)上设有二维材料层(3)，所述二维材料层(3)上设有第二电极(4)，所述二维材料层(3)为石墨烯与二维材料交叠形成n层异质结。