[发明专利]一种集成电路基板清洗设备

摘要

本发明公开了一种集成电路基板清洗设备，包括清洗腔、摆臂装置和易燃液体供液系统，清洗腔内设有载盘和与载盘垂直固定的支撑轴，支撑轴由驱动装置驱动旋转；摆臂装置包括底座、液体管，液体管包括竖直管体和水平管体，竖直管体垂直固定在底座上并与易燃液体供液系统连通供液，水平管体上设有液体喷头，液体喷头面向载盘，液体管的外壁还包裹有加热套，加热套内灌有为易燃液体加热的热介质，以水浴加热的方式将热量传递给摆臂装置内的易燃液体。通过水浴加热易燃液体的方式，既防止传输过程中液体热量的损失，又避免了传统电加热方式漏电、静电等安全性问题。

主权项

一种集成电路基板清洗设备，其特征在于，包括清洗腔(100)、摆臂装置(200)和易燃液体供液系统(300)，清洗腔(100)内设有载盘(101)和与载盘(101)垂直固定的支撑轴(102)，支撑轴(102)由驱动装置(103)驱动旋转；摆臂装置(200)包括底座(201)、液体管，液体管包括竖直管体(205)和水平管体(206)，竖直管体(205)垂直固定在底座(201)上，水平管体(206)上设有液体喷头(207)，液体喷头(207)面向载盘(101)，液体管与易燃液体供液系统(300)连通供液，液体管的外壁还包裹有加热套(208)，加热套(208)内灌有为易燃液体加热的热介质，以水浴加热的方式将热量传递给液体管内的易燃液体。