[发明专利]一种具有流量调节功能的多通道配气装置

摘要

本发明公开了一种具有流量调节功能的多通道配气装置，其包括配气板以及与配气板固定贴合在一起的固定块，配气板上开有一安装孔，安装孔处固定有供气接头，配气板前侧在安装孔所在圆周处开有环形导气槽；固定块后侧贴合在配气板前侧，固定块在与环形导气槽对应的圆周上开有若干个通气孔，所述通气孔内设有流量控制阀。本发明提供了一种适合于集成化使用环境的、小型化的具有流量调节功能多通道配气装置，其结构集约化、体积小，制造成本低，能有效降低实验成本。

主权项

一种具有流量调节功能的多通道配气装置，包括配气板以及与配气板固定贴合在一起的固定块，配气板上开有一安装孔，安装孔处固定有供气接头，配气板前侧在安装孔所在圆周处开有环形导气槽；固定块后侧贴合在配气板前侧，固定块在与环形导气槽对应的圆周上开有若干个通气孔，所述通气孔内设有流量控制阀；所述固定块前侧设有热脱附管固定装置；其特征是：热脱附管固定装置包括设在固定块前侧的压紧板，压紧板与固定块不能相对旋转，压紧板在与通气孔对应位置开有出气孔，通气孔在压紧板侧设有环形凹槽，环形凹槽上设有管道密封圈，固定块中部开有螺纹通孔，压紧板后侧在与螺纹通孔对应处固定支承有一螺杆，螺杆相对于压紧板能自由旋转但不能轴向移动，螺杆与螺纹通孔螺纹连接使得压紧板与固定块贴合，配气板在与螺纹通孔对应处开有通孔，一转轴固定在螺杆后侧并穿过通孔裸露在外。