[发明专利]一种阻抗匹配装置和等离子体处理设备有效
| 申请号： | 201610256874.2 | 申请日： | 2016-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN107305831B | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 师帅涛 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙) 11726 | 代理人： | 左文;段志慧 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种阻抗匹配装置和等离子体处理设备。该阻抗匹配装置包括检测控制单元和阻抗匹配单元，检测控制单元用于检测射频电源的阻抗，并控制阻抗匹配单元对射频电源的阻抗和反应腔室内的等离子体阻抗进行匹配，阻抗匹配单元包括阻抗调整组件，检测控制单元包括直流电流源，直流电流源连接阻抗匹配单元，阻抗调整组件能根据直流电流源输出的电流调整阻抗匹配单元的阻抗，以使射频电源的阻抗和等离子体阻抗匹配。该阻抗匹配装置实现了直流电流控制下的阻抗匹配单元阻抗调整，这能使阻抗匹配单元实现较大范围的匹配阻抗调整，从而增大了阻抗匹配装置的阻抗匹配范围；同时，还能实现阻抗匹配单元的快速阻抗匹配，并降低阻抗匹配装置的匹配成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阻抗匹配 装置 等离子体 处理 设备 | ||
【主权项】：
一种阻抗匹配装置，包括检测控制单元和阻抗匹配单元，所述检测控制单元用于检测射频电源的阻抗，并控制所述阻抗匹配单元对所述射频电源的阻抗和反应腔室内的等离子体阻抗进行匹配，其特征在于，所述阻抗匹配单元包括阻抗调整组件，所述检测控制单元包括直流电流源，所述直流电流源连接所述阻抗匹配单元，所述阻抗调整组件能根据所述直流电流源输出的电流调整所述阻抗匹配单元的阻抗，以使所述射频电源的阻抗和所述等离子体阻抗匹配。
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