[发明专利]一种基板传送装置有效
| 申请号： | 201610258607.9 | 申请日： | 2016-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN105883420B | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | 石鹏程;刘浏 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G54/00 | 分类号： | B65G54/00 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基板传送装置，涉及传送设备技术领域，以在传送基板时，减少基板传送装置中的传送部对基板的磨损。该基板传送装置包括用于传送基板的传送部，该传送部设有磁悬浮装置，磁悬浮装置能够使基板受到与重力方向相反的悬浮力Fv。本发明提供的基板传送装置用于传送基板。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传送 装置 | ||
【主权项】：
一种基板传送装置，包括用于传送基板的传送部，其特征在于，所述传送部设有磁悬浮装置；所述磁悬浮装置能够使所述基板受到与重力方向相反的悬浮力Fv，所述磁悬浮装置包括电场生成单元，以及使所述基板处在磁场中的磁场生成单元；所述基板中设有导电层，所述导电层的一侧与所述电场生成单元的正极电连接，所述导电层的另一侧与所述电场生成单元的负极电连接；所述基板在所述磁场生成单元产生的磁场中受到安培力F；所述悬浮力Fv为所述安培力F或所述安培力F在基板重力方向所在直线的分力。
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