[发明专利]磷酸酯功能化的季铵盐缓蚀剂及其制备方法在审
| 申请号： | 201610259841.3 | 申请日： | 2016-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN105887102A | 公开（公告）日： | 2016-08-24 |
| 发明（设计）人： | 周峰;于强亮;蔡美荣;裴小维;刘维民 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | C23G1/06 | 分类号： | C23G1/06;C07F9/40 |
| 代理公司： | 兰州中科华西专利代理有限公司 62002 | 代理人： | 方晓佳 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种磷酸酯功能化的季铵盐缓蚀剂，该缓蚀剂的结构通式如下： |
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| 搜索关键词： | 磷酸酯 功能 铵盐 缓蚀剂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
磷酸酯功能化的季铵盐缓蚀剂，其特征在于该缓蚀剂的结构通式如下：![]()
其中，R代表碳原子数为8到18的烷基；n 代表2或3。
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