[发明专利]压电驱动二维微进给平台

摘要

一种压电陶瓷驱动微进给平台，包括平台基体中部的辅助平台及进给平台。进给平台被紧固在辅助平台中部。平台基体的下部和辅助平台的右侧中部各自设有U形通孔i和T形通孔。压电陶瓷驱动器i和压电陶瓷驱动器ii分别置于U形通孔i和T形通孔内并在平台基体1下侧与右侧分别被螺钉ii‑12和螺钉iii‑8紧固。辅助平台设有对称平行布置的柔性铰链i。进给平台设有对称平行布置的柔性铰链ii。其特征在于：压电陶瓷驱动器i的前端顶紧对称式位移增大机构的下端。本发明压电驱动二维微进给平台，通过一种简单的对称式位移增大结构的应用，能够增大输出位移，使位移平台在Y轴方向上具较大的输出位移，结构简单，制造成本低廉，适合在精密操作领域推广，还可用于微细加工以及测量等其他用途。

主权项

一种压电陶瓷驱动微进给平台，包括平台基体(1)中部的辅助平台(2)及该辅助平台(2)中部的进给平台(3)，所述进给平台(3)被紧固在辅助平台(2)中部，所述平台基体(1)的下部和所述辅助平台(2)的右侧中部各自设有U形通孔i(11)和T形通孔(7)；压电陶瓷驱动器i(10)和压电陶瓷驱动器ii(6)分别置于所述U形通孔i(11)和T形通孔(7)内并在平台基体(1)下侧与右侧分别被紧固；所述平台基体(1)四角设有安装孔(13)；所述辅助平台(2)上部的—字形通孔(20)两端各设有对称的凸边i((21)及凸边ii(22)；所述辅助平台(2)下部对称设有二个F形通孔(15)，所述F形通孔(15)长边头端设有凸边iii(31)及凸边iv(32)，另一端分别设有凸边xv(33)、凸边xvi(36)与凸边xx(40)；所述辅助平台(2)左右两侧均设有U形通孔ii(17),该U形通孔ii(17)两头端分别设有凸边v(23)、凸边vi(24)与凸边vii(29)、凸边viii(30)，以上所述的—字形通孔(20)、二个F形通孔(15)与二个U形通孔ii(17)构成对称平行布置的柔性铰链i(5)；所述进给平台(3)上下部分各设有一对称的U形通孔iii(19)，其短边上的凸边ix(26)及凸边x(28)与所述进给平台(3)左右两侧各自设有对称的—字形通孔(18)上的凸边xi(25)及凸边xii(27)形成对称平行布置的柔性铰链ii(9)，其特征在于：压电陶瓷驱动器i(10)的前端顶紧对称式位移增大机构的下端，该机构的结构为：所述两个对称设置的F形通孔(15)两短边之间设有山字形通孔(16)，该山字形通孔(16)的竖向设有两处对称的凸边xiii(34)与凸边xiv(35)分别与所述凸边xv(33)与凸边xvi(36)相背，所述山字形通孔(16)的下部长孔两端向上翘起形成凸边xvii(37)；所述U形通孔i(11)的两竖(14)的上端各设有方向相反而对称的凸边xviii(38)与凸边xix(39)；所述凸边xviii(38)与所述凸边xvii(37)相对，而所述凸边xix(39)与所述凸边xx(40)相对；所述凸边xiv(35)、凸边xvi(36)、凸边xvii(37)、凸边xviii(38)、凸边xix(39)、凸边xx(40)的中心连线与水平线M‑N相重合。