[发明专利]MEMS麦克风及其制造方法有效
| 申请号： | 201610262874.3 | 申请日： | 2016-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN105792084B | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 王琳琳;周晔;刘政谚;刘雨微;孟珍奎 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS麦克风。所述MEMS麦克风包括具有背腔的基底以及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对的振膜，所述背板与所述振膜间隔设置并形成声腔，所述振膜远离所述声腔的一侧设有应力层。本发明还提供了一种MEMS麦克风的制造方法。此方法特别适用于低拉伸应力振膜，可以避免在整体结构应力平衡后而导致皱膜或者是变形屈曲，从而保证所述MEMS麦克风具有高灵敏性和高可靠性。而且该方法生产的MEMS麦克风制作工艺流程简单、工艺成本低、易于批量化生产。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风，其特征在于，包括具有背腔的基底以及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对的振膜，所述背板与所述振膜间隔设置并形成声腔，所述振膜远离所述声腔的一侧设有应力层。
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