[发明专利]一种柔性射频应变可调无源低通滤波器及制造和测量方法

摘要

一种柔性射频应变可调无源低通滤波器及制造和测量方法，在衬底的上端面分别设置有螺旋电感中心电极和MIM电容底层金属极板，在MIM电容底层金属极板上由下到上依次设置有MIM电容介质层和MIM电容上层金属极板，衬底上设置有SU_8绝缘层，螺旋电感通孔、上层金属极板通孔、下层金属极板通孔，SU_8绝缘层上端面分别设置有：螺旋电感输出端、MIM电容输入端、MIM电容输出端、地线、滤波器输出端、螺旋电感输入端和滤波器输入端。本发明利用柔性电容和电感在弯曲应变下电容值和电感值的变化，使无源滤波器的截止频率和S参数发生变化。本发明结构简单，调谐简便，调谐范围较窄，灵敏度高，节省了调谐的成本，并且有很少的寄生效应。

主权项

一种柔性射频应变可调无源低通滤波器，包括衬底(1)，其特征在于，在所述的衬底(1)的上端面分别设置有螺旋电感中心电极(3a)和MIM电容底层金属极板(3b)，在所述的MIM电容底层金属极板(3b)上由下到上依次设置有MIM电容介质层(4)和MIM电容上层金属极板(5)，所述的衬底(1)上还设置有将所述螺旋电感中心电极(3a)、MIM电容底层金属极板(3b)、MIM电容介质层(4)和MIM电容上层金属极板(5)全部覆盖在内部的SU_8光刻胶构成SU_8绝缘层(2)，所述的SU_8光刻胶构成SU_8绝缘层(2)内还形成有使螺旋电感中心电极板(3a)与所述SU_8光刻胶构成SU_8绝缘层(2)上端面相连的螺旋电感通孔(61)，使MIM电容上层金属极板与所述SU_8光刻胶构成SU_8绝缘层(2)上端面相连的上层金属极板通孔(62)，以及使MIM电容底层金属极板(3b)与所述SU_8光刻胶构成SU_8绝缘层(2)上端面相连的下层金属极板通孔(63)，所述SU_8光刻胶构成SU_8绝缘层(2)上端面分别设置有：与所述的螺旋电感通孔(61)相连的螺旋电感输出端(7)，与所述的上层金属极板通孔(62)相连的MIM电容输入端(8)，与所述的下层金属极板通孔(63)相连的MIM电容输出端(9)，以及地线(10)、滤波器输出端(11)、螺旋电感输入端(12)和滤波器输入端(13)，其中，所述的螺旋电感输出端(7)和螺旋电感输入端(12)之间为螺旋电感(15)，所述的螺旋电感输出端(7)分别通过互连线(14)连接滤波器输出端(11)和MIM电容输入端(8)，所述MIM电容输出端(9)通过互连线(14)连接地线(10)，所述螺旋电感输入端(12)通过互连线(14)连接滤波器输入端(13)。