[发明专利]激光加工装置

摘要

提供激光加工装置，能够重复地照射激光光线且能够高效地实施烧蚀加工。激光加工装置的激光光线照射机构具有：脉冲激光振荡器，其振荡出脉冲激光光线；聚光器，其对从脉冲激光振荡器振荡出的激光光线进行会聚而对保持在卡盘工作台上的被加工物进行照射；多面镜，其配设在脉冲激光振荡器与聚光器之间，呈同心状地配设有多个反射镜，该多个反射镜使从该脉冲激光振荡器振荡出的脉冲激光光线分散；以及引导构件，其配设在脉冲激光振荡器与多面镜之间，对脉冲激光光线进行引导以便脉冲激光光线不会照射到相邻的反射镜的角部。

主权项

1.一种激光加工装置，其具有：对被加工物进行保持的卡盘工作台；以及对保持在该卡盘工作台上的被加工物进行激光加工的激光光线照射机构，该激光加工装置的特征在于，该激光光线照射机构具有：/n脉冲激光振荡器，其振荡出脉冲激光光线；/n聚光器，其对从该脉冲激光振荡器振荡出的激光光线进行会聚而对保持在该卡盘工作台上的被加工物进行照射；/n多面镜，其配设在该脉冲激光振荡器与该聚光器之间，相对于旋转轴呈同心状地配设有多个反射镜，该多个反射镜使从该脉冲激光振荡器振荡出的脉冲激光光线分散；以及/n引导构件，其配设在该脉冲激光振荡器与该多面镜之间，对脉冲激光光线在不切断的情况下进行引导以便脉冲激光光线不会照射到相邻的反射镜的角部，防止因脉冲激光光线与相邻的反射镜的角部接触而产生的脉冲激光光线的散乱，/n该引导构件包含：/n光学性开关元件，其将从该脉冲激光振荡器振荡出的脉冲激光光线选择性地引导到第1路径和第2路径；/n偏光分束器，其将引导到该第1路径和该第2路径的脉冲激光光线引导到配设有该多面镜的第3路径；/n旋转位置检测构件，其对该多面镜的旋转位置进行检测；以及/n控制构件，其根据来自该旋转位置检测构件的检测信号而对该光学性开关元件进行控制以便脉冲激光光线不会照射到该多面镜的相邻的反射镜与反射镜的角部，/n对第1路径和第2路径进行定位以便该偏光分束器对引导到第1路径的脉冲激光光线和引导到该第2路径的脉冲激光光线以具有规定的间隔的方式进行分支。/n