[发明专利]溅射镀膜机构在审
| 申请号： | 201610266380.2 | 申请日： | 2016-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN105908141A | 公开（公告）日： | 2016-08-31 |
| 发明（设计）人： | 金海涛;薛辉;昌江;任俊春 | 申请（专利权）人： | 芜湖真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C03C17/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种溅射镀膜机构，其中，所述溅射镀膜机构包括舱室，所述舱室内部的顶部固定有靶材机构，所述舱室相对的内侧壁上分别设置有挡板机构，且所述靶材机构位于所述挡板机构的上方，所述挡板机构包括转轴、挡板和收集板，所述挡板的一端通过转轴连接所述舱室内侧壁，使得所述挡板能以所述转轴为支点上下翻转，所述挡板中靠近所述靶材的一面上可拆卸地设置有收集板。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 镀膜 机构 | ||
【主权项】：
一种溅射镀膜机构，其特征在于，所述溅射镀膜机构包括舱室(1)，所述舱室(1)内部的顶部固定有靶材机构(2)，所述舱室(1)相对的内侧壁上分别设置有挡板机构，且所述靶材机构(2)位于所述挡板机构的上方，所述挡板机构包括转轴(5)、挡板(4)和收集板(3)，所述挡板(4)的一端通过转轴(5)连接所述舱室(1)内侧壁，使得所述挡板(4)能以所述转轴(5)为支点上下翻转，所述挡板(4)中靠近所述靶材的一面上可拆卸地设置有收集板(3)。
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