[发明专利]溅射镀膜机构在审
| 申请号： | 201610266406.3 | 申请日： | 2016-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN105695944A | 公开（公告）日： | 2016-06-22 |
| 发明（设计）人： | 金海涛;薛辉;昌江;任俊春 | 申请（专利权）人： | 芜湖真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54;C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种溅射镀膜机构，所述溅射镀膜机构包括所述舱室，所述舱室内部的顶部固定有靶材机构，所述舱室相对的内侧壁上分别设置有挡板机构，且所述靶材机构位于所述挡板机构的上方，所述挡板机构包括转轴、挡板和收集板，所述挡板的一端通过转轴连接所述舱室内侧壁，使得所述挡板能以所述转轴为支点上下翻转，所述挡板中靠近所述靶材的一面上可拆卸地设置有收集板，所述舱室下方设有运输机构，所述运输机构至少包括有底仓，所述底仓的上表面设有多个顺次设置的辊筒，所述底仓内设有多个气缸，所述气缸的上端至少部分位于所述底仓外部。解决了传统的溅射镀膜机构不可以调整玻璃板与靶材机构之间的距离，导致镀膜时不易调节膜厚度的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 镀膜 机构 | ||
【主权项】：
一种溅射镀膜机构，其特征在于，所述溅射镀膜机构包括所述舱室(1)，所述舱室(1)内部的顶部固定有靶材机构(2)，所述舱室(1)相对的内侧壁上分别设置有挡板机构，且所述靶材机构(2)位于所述挡板机构的上方，所述挡板机构包括转轴(5)、挡板(4)和收集板(3)，所述挡板(4)的一端通过转轴(5)连接所述舱室(1)内侧壁，使得所述挡板(4)能以所述转轴(5)为支点上下翻转，所述挡板(4)中靠近所述靶材的一面上可拆卸地设置有收集板(3)，所述舱室(1)下方设有运输机构(9)，所述运输机构(9)至少包括有底仓(13)，所述底仓(13)的上表面设有多个顺次设置的辊筒(9)，所述底仓(13)内设有多个气缸(12)，所述气缸(12)的上端至少部分位于所述底仓(13)外部，当所述气缸(12)伸缩时，可以将放置在所述辊筒(9)上的玻璃基片(8)顶起。
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