[发明专利]靶材组件的制造方法在审
| 申请号： | 201610268036.7 | 申请日： | 2016-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN107304470A | 公开（公告）日： | 2017-10-31 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;廖培君 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 高静,吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种靶材组件的制造方法，包括提供靶坯和背板，靶坯的待焊接面为第一焊接面，背板的待焊接面为第二焊接面，其中，与第一焊接面相对的为靶坯背面，位于第一焊接面和靶坯背面之间的为靶坯侧面，与第二焊接面相对的为背板背面，位于第二焊接面和背板背面之间的为背板侧面，且靶坯和背板中的易挥发金属含量不相等；将第一焊接面和第二焊接面相对设置并贴合；采用电子束对靶坯和背板的接触面边缘进行第一电子束扫描，形成靶材组件；第一电子束扫描后，移动电子束或靶材组件，使电子束投射至易挥发金属含量较低的靶坯侧面或背板侧面。本发明在第一电子束扫描后，使电子束投射至易挥发金属含量较低的靶坯侧面或背板侧面，提高了焊接强度。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种靶材组件的制造方法，其特征在于，包括：提供靶坯和背板，所述靶坯的待焊接面为第一焊接面，所述背板的待焊接面为第二焊接面，其中，与所述第一焊接面相对的表面为靶坯背面，位于所述第一焊接面和靶坯背面之间的表面为靶坯侧面，与所述第二焊接面相对的表面为背板背面，位于所述第二焊接面和背板背面之间的表面为背板侧面，且所述靶坯和背板中的易挥发金属含量不相等；将所述第一焊接面和第二焊接面相对设置并贴合，形成初始靶材组件；转动所述初始靶材组件，并采用电子束对所述靶坯和背板的接触面边缘进行第一电子束扫描，将所述靶坯焊接至所述背板上形成靶材组件；完成所述第一电子束扫描后，移动电子束或靶材组件，使电子束投射至易挥发金属含量较低的靶坯侧面或背板侧面；关闭电子束束流。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司，未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610268036.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种不锈钢表面加硬处理技术
- 下一篇：一种在钼基片上沉积的钌薄膜及其制备方法
- 同类专利
- 专利分类
