[发明专利]一种石英谐振器有效
申请号: | 201610268746.X | 申请日: | 2016-04-27 |
公开(公告)号: | CN105978525B | 公开(公告)日: | 2018-09-25 |
发明(设计)人: | 崔巍;潘立虎;叶林;周伟平;郑文强;王作羽;刘小光;王莉;哈斯图亚;李国强 | 申请(专利权)人: | 北京无线电计量测试研究所 |
主分类号: | H03H9/19 | 分类号: | H03H9/19;H03H9/13 |
代理公司: | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人: | 黄熊 |
地址: | 100854 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本申请公开了一种石英谐振器,包括:通过石英晶片与镀有金属膜的下电极之间悬离;和/或,石英晶片与镀有金属膜的上电极之间悬离,使得石英谐振器中石英晶片与上下电极上的金属膜分离,有效地解决了由于石英谐振器中上、下电极对应的金属膜被附着在石英晶片表面使得金属膜内表面和石英晶体外表面形成内应力进而该内应力引发石英谐振器的振荡频率发生漂移的问题,提升石英谐振器输出振荡频率的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 石英 谐振器 | ||
【主权项】:
1.一种石英谐振器,其特征在于,包括:石英晶片、镀有金属膜的上电极和镀有金属膜下电极,其中:所述石英晶片与所述镀有金属膜的下电极之间悬离,包括,通过下电极衬底上的凸起部件使所述石英晶片与镀有金属膜的下电极之间悬离;和/或;所述石英晶片与所述镀有金属膜的上电极之间悬离,包括,通过上电极衬底上的凸起部件使所述石英晶片与镀有金属膜的上电极之间悬离。
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