[发明专利]一种石英谐振器的制作方法有效
| 申请号： | 201610269557.4 | 申请日： | 2016-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN105958961B | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 崔巍;潘立虎;叶林;周伟平;郑文强;王作羽;刘小光;王莉;哈斯图亚;李国强 | 申请（专利权）人： | 北京无线电计量测试研究所 |
| 主分类号： | H03H3/04 | 分类号： | H03H3/04;H03H9/10;H03H9/19 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 黄熊 |
| 地址： | 100854 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石英谐振器的制作方法，包括：通过将上下电极与石英晶片悬离，消除金属膜附着在石英晶片表面所产生的内应力，同时也排除了由于蒸镀或溅镀时使用的真空油泵散发的油气对石英晶片产生污染引起的石英谐振器输出频率不稳定。同时在封装是采用真空技术，将石英晶片内部的水、氧化物等杂质排出，有效降低外界环境对石英晶片的影响，提高石英谐振器输出频率的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 谐振器 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种石英谐振器的制作方法，其特征在于，包括：根据石英谐振器的设定振荡频率，对石英晶体材料进行处理，得到所述石英谐振器中的石英晶片；根据所述石英晶片的物理参数，确定用于固定所述石英晶片的上电极衬底和下电极衬底；分别在上电极衬底和下电极衬底上进行金属镀膜，使得金属膜附着的上电极衬底和下电极衬底；封装所述石英晶片、所述上电极衬底和所述下电极衬底，得到石英谐振器；其中，所述下电极衬底上包含下电极衬底定位缺口和下电极衬底定位台阶，所述下电极衬底定位缺口用于固定所述石英晶片，使所述石英晶片与所述下电极衬底上的下电极金属膜悬离。
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