[发明专利]传送设备

摘要

本发明提供了一种传送设备，该传送设备用于传送基板，该传送设备包括传送通道、悬浮装置和动力装置；所述悬浮装置用于控制基板悬浮在所述传送通道中；所述动力装置用于在所述基板悬浮时对所述基板施加传送动力。本发明提供的传送设备，通过悬浮装置可以使基板在悬浮状态下被传送，从而可以在传送过程中减少基板与其他设备的直接接触，进而能够在传送过程中减少对基板造成的损坏，提高产品的良率。

主权项

一种传送设备，用于传送基板，其特征在于，所述传送设备包括传送通道、悬浮装置、动力装置和支撑装置；所述悬浮装置用于控制基板悬浮在所述传送通道中；所述动力装置用于在所述基板悬浮时对所述基板施加传送动力，所述动力装置包括设置在所述传送通道下方的下动力推风板以及设置在所述传送通道上方的上动力推风板，所述下动力推风板设置在所述支撑装置的底板上，所述上动力推风板设置在所述支撑装置的顶板上；所述下动力推风板用于提供流向为所述基板的传送方向且偏向上的气流，所述上动力推风板用于提供流向为所述基板的传送方向且偏向下的气流，通过下动力推风板和上动力推风板提供的气流，对基板提供传送方向的动力；所述下动力推风板和/或所述上动力推风板提供的气流为等离子气流，从而去除传送过程中易发的静电不良。