[发明专利]一种低温下制备钽表面钨功能涂层的方法

摘要

一种低温下制备钽表面钨功能涂层的方法，包括以下步骤：S1，将基体表面抛光处理，所述基体包括钽、钽合金或其组合；S2，将抛光后的基体埋入包埋渗剂中反应，其中包埋温度为240‑280℃，保温时间为1‑8h，所述包埋渗剂包括均匀分散的WCl6粉、活化剂和Al2O3粉，且所述包埋渗剂中WCl6粉的比例为30‑50wt.%；S3，保温结束后，清洗包埋后的基体并真空干燥。本发明采用包埋法，基体与包埋渗剂在240‑280℃发生扩散反应，从而制得钨功能涂层。基体与钨功能涂层结合好，具有功能涂层均匀致密的优点，且无需采用高温或加压的方法获得涂层，降低了对设备的要求，适合规模化生产。

主权项

1.一种低温下制备钽表面钨功能涂层的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1，将基体表面抛光处理，所述基体包括钽、钽合金或其组合；S2，将抛光后的基体埋入包埋渗剂中反应，其中包埋温度为240‑280℃，保温时间为1‑8h，所述包埋渗剂包括均匀分散的WCl₆粉、活化剂和Al₂O₃粉，且所述包埋渗剂中WCl₆粉的比例为30‑50wt.％；所述活化剂的比例为10‑15wt.％，所述Al₂O₃粉的比例为35‑60wt.％；S3，保温结束后，清洗包埋后的基体并真空干燥。