[发明专利]光学检测装置及方法有效
申请号: | 201610272365.9 | 申请日: | 2016-04-28 |
公开(公告)号: | CN106092968B | 公开(公告)日: | 2020-05-05 |
发明(设计)人: | 黎育腾;曲昌盛;何贯睿;贺培诚;钟双兆;范植训;陈治诚 | 申请(专利权)人: | 台医光电科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/47 | 分类号: | G01N21/47 |
代理公司: | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人: | 唐芳芳 |
地址: | 中国台湾新竹县竹东镇*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供了一种光学检测装置,该光学检测装置包括一光源,产生一发射光束;一第一分光器,将该发射光束分割成一补偿光束及一检测光束,其中该第一分光器将该检测光束导向一目标物;一第二分光器,将来自该第一分光器的补偿光束重新定向,其中该第一分光器和该第二分光器的部分波长依赖特性相一致;一第一光电探测器,检测经由该第二分光器重新定向的补偿光束;及一第二光电探测器,检测经由该第一分光器重新定向的并经由该目标物反射的检测光束。本发明还提供了一种光学检测方法。本发明的光学检测装置及光学检测方法能准确检测一目标物反射的光束。 | ||
搜索关键词: | 光学 检测 装置 方法 | ||
【主权项】:
一光学检测装置,其特征在于,包括:一光源,产生一发射光束;一第一分光器,将该发射光束分割成一补偿光束及一检测光束,其中该第一分光器将该检测光束导向一目标物;一第二分光器,将来自该第一分光器的补偿光束重新定向,其中该第一分光器和该第二分光器的部分波长依赖特性相一致;一第一光电探测器,检测经由该第二分光器重新定向的补偿光束;及一第二光电探测器,检测经由该第一分光器重新定向的并经由该目标物反射的检测光束。
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