[发明专利]光纤预制松散体沉积装置及其沉积方法

摘要

本发明提供一种光纤预制松散体沉积装置及其沉积方法，沉积装置包括：箱体、R×C矩阵分布喷灯、喷灯平移电机和、喷灯平移载台、C根靶棒、C个引杆、C个传感器、C个旋转电机、升降载台、以及升降电机；其中所述C根靶棒沿第一方向延伸设置且位于对应的第一喷灯的上方，且每个靶棒的延伸方向与第一方向的每排第一喷灯对应设置。本发明一个箱体可以沉积C个松散体，与传统方法相比，可少用3×(C‑1)个伺服电机，喷灯矩阵分布中同一行的喷灯的内外隔离气体可以共用一个质量流量计，因此可以节约2×R×(C‑1)个质量流量计；喷灯矩阵分布法大大提高了设备的生产效率，沉积速度是单喷灯的RC倍。

主权项

一种光纤预制松散体沉积装置，其特征在于，其包括：箱体、固定该箱体内的R×C矩阵分布喷灯、与该R×C矩阵分布喷灯连接的喷灯平移电机和喷灯平移载台、沉积C个松散体的C根靶棒、与该C根靶棒对应连接的C个引杆、与该C个引杆对应连接的C个传感器、与该C个引杆对应连接的C个旋转电机、固定该C个旋转电机的升降载台、以及与该升降载台连接的升降电机；其中，R和C均为自然数；设定R×C矩阵分布喷灯位于第一方向和与该第一方向垂直的第二方向矩阵排列，设定位于第一方向的称为第一喷灯，设定位于与第二方向的称为第二喷灯；位于第一方向的第一喷灯具有C排，每排设有R个第一喷灯；位于第二方向的第二喷灯具有R排，每排设有C个第二喷灯；所述C根靶棒沿第一方向延伸设置且位于对应的第一喷灯的上方，且每个靶棒的延伸方向与第一方向的每排第一喷灯对应设置。