[发明专利]光学指纹识别装置的形成方法有效
| 申请号： | 201610275911.4 | 申请日： | 2016-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN105956545B | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 赵立新;陈俭;夏欢 | 申请（专利权）人： | 格科微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G06K9/00 | 分类号： | G06K9/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光学指纹识别装置的形成方法，包括：提供硅基板，于硅基板上形成凹槽阵列；提供透光基板、图像传感器芯片，键合透光基板与图像传感器芯片，通过渐变通光量光刻方法于透光基板上形成透镜阵列，所述透镜阵列对应于图像传感器芯片的感光阵列；将硅基板的凹槽面与透光基板键合，所述凹槽阵列对应于所述透镜阵列，刻蚀硅基板的非凹槽面以暴露出所述透镜阵列，并且于相邻透镜之间形成硅光栏。本发明的光学指纹识别装置的形成方法，通过渐变通光量光刻方法形成透镜阵列，可满足更为精细、复杂的透镜制作要求，准确保证光学指纹识别装置所需的光学特性，适用于便携式电子设备，且与现有的芯片制作和封装工艺兼容，以降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 指纹识别 装置 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种光学指纹识别装置的形成方法，其特征在于，包括：提供硅基板，于硅基板上形成凹槽阵列；提供透光基板、图像传感器芯片，键合透光基板与图像传感器芯片，通过渐变通光量光刻方法于透光基板上形成透镜阵列，所述透镜阵列对应于图像传感器芯片的感光阵列；将硅基板的凹槽面与透光基板键合，所述凹槽阵列对应于所述透镜阵列，刻蚀硅基板的非凹槽面以暴露出所述透镜阵列，并且于相邻透镜之间形成硅光栏。
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